Новая ступень в технологии атомно-слоевого осаждения

Компания Термо-Решения объявляет об открытии нового направления поставок высокотехнологичного оборудования – установки атомно-слоевого осаждения производства компании Encapsulix SAS, Франция.

Оборудование данной компании позволяет наносить различные ультра точные пленки и слои с высокой скоростью по сравнению с традиционными решениями. Высокие скоростные показатели процессов достигаются за счет уникальных запатентованных решений подачи реактивов, газов и конструкции рабочей камеры.

Модельный ряд оборудования компании Encapsulix SAS имеет в своем составе, как научно-исследовательские систему, так и установки, ориентированные на интеграцию в кластер в крупносерийном производстве.

Области применения оборудования АСО Encapsulix SAS:

— OLED и OLED на кремнии, — МЭМС и полупроводники, — Фотовольтаика, - Оптика, — Гибкая и печатная электроника, — High K и TFT.

Особенности оборудования:

— Пластины от 100 до 200 мм, — Отдельно стоящее решение или интеграция в кластер, — Автоматическое управление и контроль, — До 5-ти различных прекурсоров и до 5-ти окислителей в одной установке, — До 20-ти контролируемых температурных зон, — Ozone, PELAD процессы, в том числе с предварительной плазменной очисткой, — In-situ метрология, атмосферная камера, скрубберы, прекурсоры (опция), — Нагрев до +400С, — Высокая скорость осаждения (до 50А/мин*).

Результаты типовых процессов